Патенти з міткою «кремнію-нітрід»

Номер патенту: 1564

Опубліковано: 25.07.1994

Автори: Карплюк Олександр Іванович, Богданов Євген Іванович, Живов Михайло Давидович, Дубина Віктор Григорович

МПК: H01L 21/318

Мітки: кремнію, кремній-двоокис, кремнію-нітрід, спосіб, структур, виготовлення

Формула / Реферат:

Способ получения структур кремний - дву­окись кремния - нитрид кремния, включающий осаждение на структуры кремний-двуокись кремния пленки нитрида кремния из парогазовой смеси тетрахлорида кремния, аммиака и инертного газа при пониженном давлении, отжиг структур после осаждения пленки нитрида кремния, отличающийся тем, что, с целью улучшения элек­трофизических параметров структур за счет увеличения уровней записи и стирания инфор­мации, отжиг...