Патенти з міткою «кремній-двоокис»

Номер патенту: 7561

Опубліковано: 29.09.1995

Автори: Тетяненко Микола Петрович, Литовченко Володимир Григорович, Костильов Віталій Петрович, Громашевський Вячеслав Львович, Іваницький Олег Петрович, Горбань Анатолій Петрович

МПК: H01L 21/304

Мітки: обробки, кремній-двоокис, структур, кремнію, спосіб

Формула / Реферат:

Способ обработки структур кремний-дву­окись кремния, включающий операцию измене­ния параметров дефектов, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости, энергоемко­сти процесса и повышения качества, изменение параметров дефектов производят путем возбужде­ния в структурах ультразвуковых колебаний с ча­стотой 0,1 - 60 МГц, интенсивностью 0,5-7 Вт/см2 в течение 5-30 мин при температуре структуры не более 1000С.

Номер патенту: 7563

Опубліковано: 29.09.1995

Автори: Лісовський Ігор Петрович, Литвинов Ренальд Олімпійович, Литовченко Володимир Григорович

МПК: H01L 21/265

Мітки: кремнію, розділу, станів, густини, спосіб, зменшення, кремній-двоокис, межі, поверхневих

Номер патенту: 1564

Опубліковано: 25.07.1994

Автори: Живов Михайло Давидович, Дубина Віктор Григорович, Богданов Євген Іванович, Карплюк Олександр Іванович

МПК: H01L 21/318

Мітки: спосіб, кремнію, кремнію-нітрід, структур, виготовлення, кремній-двоокис

Формула / Реферат:

Способ получения структур кремний - дву­окись кремния - нитрид кремния, включающий осаждение на структуры кремний-двуокись кремния пленки нитрида кремния из парогазовой смеси тетрахлорида кремния, аммиака и инертного газа при пониженном давлении, отжиг структур после осаждения пленки нитрида кремния, отличающийся тем, что, с целью улучшения элек­трофизических параметров структур за счет увеличения уровней записи и стирания инфор­мации, отжиг...