Патенти з міткою «метал-n-cdte»
Спосіб виготовлення фотодіода на основі контакту метал-n-cdte
Номер патенту: 40056
Опубліковано: 25.03.2009
Автори: Скрипник Микола Володимирович, Демич Микола Васильович, Махній Віктор Петрович
МПК: H01L 31/00
Мітки: основі, спосіб, метал-n-cdte, виготовлення, фотодіодa, контакту
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення фотодіода на основі контакту метал-n-CdTe, що включає механічне та хімічне полірування підкладинки, створення омічних та випрямляючого контактів, який відрізняється тим, що перед нанесенням випрямляючого контакту підкладинки з омічними контактами відпалюють на повітрі при температурі 520±5 °С протягом 10±2 хв.