Патенти з міткою «монокристалевих»
Спосіб одержання монокристалевих тонких плівок
Номер патенту: 35139
Опубліковано: 15.03.2001
Автори: Татаринов В'ячеслав Ігорович, Матюшин Володимир Михайлович
МПК: H01L 21/20
Мітки: одержання, тонких, спосіб, плівок, монокристалевих
Формула / Реферат:
Спосіб одержання монокристалевих тонких плівок шляхом кристалізації, що відрізняється тим, що полікристалеву тонку плівку напівпровідника піддають обробці в атомарному водні