Патенти з міткою «нітридних»

Номер патенту: 59948

Опубліковано: 15.09.2003

Автори: Попович Дмитро Іванович, Котлярчук Богдан Костянтинович, Середницький Андрій Степанович

МПК: C30B 19/00

Мітки: тонких, матеріалів, одержання, шарів, нітридних, спосіб, напівпровідникових

Формула / Реферат:

Спосіб одержання тонких шарів напівпровідникових нітридних матеріалів лазерно-магнетронним напиленням, який відрізняється тим, що імпульсне лазерне випаровування металічної мішені та конденсацію парів на підкладці здійснюють у високовакуумній магнетронній установці в схрещених магнітному і електричному полях у спеціальному квазізамкненому хімічно-активному об’ємі в атмосфері азоту (аміаку).