Патенти з міткою «плазменної»
Спосіб одержання підкладки з пароізоляційними властивостями плазменною обробкою, пристрій для плазменної обробки підкладки та пристрій для нанесення пароізоляційного покриття на підкладку
Номер патенту: 26761
Опубліковано: 12.11.1999
Автори: Фелтс Джон Т, Чесем Роберт Худ Ііі, КАНТРІВУД Джозеф, НЕЛСОН Роберт Дж.
МПК: C23C 16/54, C23C 16/40
Мітки: одержання, пароізоляційного, плазменної, плазменною, обробки, нанесення, підкладки, покриття, підкладку, обробкою, пристрій, властивостями, спосіб, пароізоляційними
Формула / Реферат:
1. Способ получения подложки с пароизоляционными свойствами плазменной обработкой, включающий подачу в вакуумную камеру подложки, образование в камере плазмы тлеющего разряда из летучего кремнийорганического соединения, кислорода и инертного газа, при пониженном давлении, отличающийся тем, что в камере поддерживают давление менее 13,3Па (0,1Торр), ограничивают плазму до полосы, имеющей расстояние дельта в одном измерении не более 30...