КАНТРІВУД Джозеф
Спосіб одержання підкладки з пароізоляційними властивостями плазменною обробкою, пристрій для плазменної обробки підкладки та пристрій для нанесення пароізоляційного покриття на підкладку
Номер патенту: 26761
Опубліковано: 12.11.1999
Автори: Чесем Роберт Худ Ііі, КАНТРІВУД Джозеф, Фелтс Джон Т, НЕЛСОН Роберт Дж.
МПК: C23C 16/54, C23C 16/40
Мітки: плазменною, підкладки, обробкою, обробки, плазменної, покриття, спосіб, одержання, нанесення, пристрій, підкладку, пароізоляційного, пароізоляційними, властивостями
Формула / Реферат:
1. Способ получения подложки с пароизоляционными свойствами плазменной обработкой, включающий подачу в вакуумную камеру подложки, образование в камере плазмы тлеющего разряда из летучего кремнийорганического соединения, кислорода и инертного газа, при пониженном давлении, отличающийся тем, что в камере поддерживают давление менее 13,3Па (0,1Торр), ограничивают плазму до полосы, имеющей расстояние дельта в одном измерении не более 30...