Чесем Роберт Худ Ііі
Спосіб одержання підкладки з пароізоляційними властивостями плазменною обробкою, пристрій для плазменної обробки підкладки та пристрій для нанесення пароізоляційного покриття на підкладку
Номер патенту: 26761
Опубліковано: 12.11.1999
Автори: Фелтс Джон Т, НЕЛСОН Роберт Дж., Чесем Роберт Худ Ііі, КАНТРІВУД Джозеф
МПК: C23C 16/40, C23C 16/54
Мітки: підкладку, плазменною, спосіб, підкладки, плазменної, пароізоляційними, одержання, покриття, обробки, обробкою, пароізоляційного, властивостями, пристрій, нанесення
Формула / Реферат:
1. Способ получения подложки с пароизоляционными свойствами плазменной обработкой, включающий подачу в вакуумную камеру подложки, образование в камере плазмы тлеющего разряда из летучего кремнийорганического соединения, кислорода и инертного газа, при пониженном давлении, отличающийся тем, что в камере поддерживают давление менее 13,3Па (0,1Торр), ограничивают плазму до полосы, имеющей расстояние дельта в одном измерении не более 30...