Патенти з міткою «плазмовими»

Номер патенту: 93531

Опубліковано: 10.10.2014

Автори: Семенюк Валерій Федорович, Веремійченко Георгій Микитович

МПК: H01L 21/00, C23C 14/34

Мітки: резонаторами, плазмовими, аксіальними, пристрій

Формула / Реферат:

1. Плазмовий технологічний пристрій, що містить вакуумну камеру з системою напуску та контролю газів, в верхній частині якої вісесиметрично розташоване діелектричне вікно з антеною, яка з'єднана з ВЧ генератором через пристрій узгодження, в нижній частині камери розташований тримач з підкладкою, з можливістю підключення до джерела живлення, ззовні камера охоплена магнітною системою з двох соленоїдальних елементів, який відрізняється тим, що в...

Номер патенту: 77299

Опубліковано: 15.11.2006

Автори: Тимошенко Олександр Іванович, Чечельницький Олег Гурійович, Таран Валерій Семенович

МПК: C23C 14/35, H05H 1/46, H01J 37/32 ...

Мітки: пристрій, каналами, електродуговий, плазмовими, вакуумний, скривленими

Формула / Реферат:

1. Вакуумний електродуговий пристрій із скривленими плазмовими каналами, який включає два зустрічних джерела плазми з фокусуючими електромагнітними котушками, які з'єднані з плазмоводом, охопленим принаймні одною відхиляючою електромагнітною котушкою, який має вихідну електромагнітну котушку, яка охоплює його вихідний отвір, який відрізняється тим, що витки відхиляючих котушок зігнуті так, що одна половина кожного витка охоплює плазмовід між...