Патенти з міткою «просвітлювальних»

Номер патенту: 67942

Опубліковано: 15.07.2004

Автори: Новосядлий Степан Петрович, Бережанський Володимир Михайлович

МПК: C30B 11/02

Мітки: масок, транспарентних, спосіб, виготовлення, фотошаблонів, просвітлювальних

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення просвітлювальних (транспарентних) масок для фотошаблонів, який включає хімічну обробку оптичних скляних заготовок, термічний розклад залізовмісної сполуки, наприклад пентакарбонілу заліза, фотолітографію по просвітлювальній плівці, який відрізняється тим, що процес формування плівки Fе2О3 проводять шляхом низькотемпературного осадження в реакторі зниженого тиску шляхом створення самопоширюваного фронту зони ланцюгової...