Бережанський Володимир Михайлович

Номер патенту: 108820

Опубліковано: 10.06.2015

Автори: Новосядлий Степан Петрович, Мельник Любомир Васильович, Бережанський Володимир Михайлович, Новосядлий Святослав Володимирович

МПК: H01L 21/22

Мітки: планарного, нітриду, формування, джерела, бору, дифузійного, іонно-плазмового, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб іонно-плазмового формування планарного дифузійного джерела із нітриду бору, який включає попередню хімічну обробку кремнієвих пластин великого діаметра, тобто більше 150 мм, у перекисно-аміачній суміші і промивку в деіонізованій воді, який відрізняється тим, що формування джерела здійснюють із нітридних плівок бору кубічної фази низькотемпературним процесом осадження із направлених іонно-плазмових потоків частинок, причому...

Номер патенту: 36456

Опубліковано: 27.10.2008

Автори: Бережанський Володимир Михайлович, Новосядлий Степан Петрович

МПК: H05K 13/00

Мітки: юстування, вісь, к-мон, напруг, радіаційною, спосіб, структур, порогових, технологією

Формула / Реферат:

1. Спосіб юстування порогових напруг структур К-МОН ВІС радіаційною технологією, що включає в себе всі операції формування субмікронних структур, який відрізняється тим, що юстування порогових напруг проводиться за допомогою радіаційної технології в два етапи: попереднє - після формування підзатворного діелектрика багатозарядною імплантацією домішки в приповерхневі затворні області і концентрацією 1014-1015 см-3 на глибину...

Номер патенту: 27540

Опубліковано: 12.11.2007

Автори: Новосядлий Степан Петрович, Бережанський Володимир Михайлович

МПК: H01C 8/00

Мітки: отримання, n-moн-транзисторів, пороговою, спосіб, напругою, від`ємною

Формула / Реферат:

1. Спосіб отримання n-MOH-транзисторів з від'ємною пороговою напругою, що включає всі операції формування кремнієвих субмікронних структур, який відрізняється тим, що з метою забезпечення його температурної стабільності, а також недопущення значного росту радіаційних дефектів, проводиться багатозарядна імплантація кремнію іонами фтору F--.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що енергія і доза двозарядних іонів F-- складає...

Номер патенту: 67942

Опубліковано: 15.07.2004

Автори: Бережанський Володимир Михайлович, Новосядлий Степан Петрович

МПК: C30B 11/02

Мітки: спосіб, виготовлення, фотошаблонів, просвітлювальних, масок, транспарентних

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення просвітлювальних (транспарентних) масок для фотошаблонів, який включає хімічну обробку оптичних скляних заготовок, термічний розклад залізовмісної сполуки, наприклад пентакарбонілу заліза, фотолітографію по просвітлювальній плівці, який відрізняється тим, що процес формування плівки Fе2О3 проводять шляхом низькотемпературного осадження в реакторі зниженого тиску шляхом створення самопоширюваного фронту зони ланцюгової...

Номер патенту: 67968

Опубліковано: 15.07.2004

Автори: Новосядлий Степан Петрович, Скробач Ірина Ярославівна, Бережанський Володимир Михайлович

МПК: H01L 21/306

Мітки: травлення, полікремнію, спосіб, плазмохімічного

Формула / Реферат:

1. Спосіб плазмохімічного травлення полікремнію, що включає технологічні операції формування фотокопії: хімічну обробку підкладок в парах гексаметилдисалазану, нанесення плівки фоторезисту, його сушіння і експонування, проявлення заекспонованих областей, дублення плівки резисту, плазмохімічного травлення, який відрізняється тим, що процес травлення проводиться в суміші газів, до складу якої входять: травильний газ SF6, галогеновмісний газ,...