Патенти з міткою «радіаційною»
Спосіб юстування порогових напруг структур к-мон віс радіаційною технологією
Номер патенту: 36456
Опубліковано: 27.10.2008
Автори: Новосядлий Степан Петрович, Бережанський Володимир Михайлович
МПК: H05K 13/00
Мітки: юстування, к-мон, напруг, технологією, спосіб, вісь, порогових, радіаційною, структур
Формула / Реферат:
1. Спосіб юстування порогових напруг структур К-МОН ВІС радіаційною технологією, що включає в себе всі операції формування субмікронних структур, який відрізняється тим, що юстування порогових напруг проводиться за допомогою радіаційної технології в два етапи: попереднє - після формування підзатворного діелектрика багатозарядною імплантацією домішки в приповерхневі затворні області і концентрацією 1014-1015 см-3 на глибину...