Патенти з міткою «реакторні»
Реакторні системи механічного псевдозрідження шару й способи, придатні для виробництва кремнію
Номер патенту: 112063
Опубліковано: 25.07.2016
Автор: Дассель Марк В.
МПК: C23C 16/52, C23C 16/44, C23C 16/448 ...
Мітки: способи, реакторні, шару, виробництва, кремнію, механічного, придатні, системі, псевдозрідження
Формула / Реферат:
1. Реакторна система, придатна для виробництва кремнію, що містить:реакційний казан, що має внутрішню частину, відділену від його зовнішньої частини за допомогою однієї або декількох стінок казана, які під час роботи утримують перший газоподібний хімічний продукт у щонайменше частині внутрішньої частини реакційного казана, при цьому перший хімічний продукт являє собою щонайменше один з газу силану (SiH4), газу трихлорсилану (SiHCl3)...