C23C 16/44 — характеризуються способом покриття
Реакторні системи механічного псевдозрідження шару й способи, придатні для виробництва кремнію
Номер патенту: 112063
Опубліковано: 25.07.2016
Автор: Дассель Марк В.
МПК: C23C 16/448, C23C 16/52, C23C 16/44 ...
Мітки: виробництва, системі, псевдозрідження, способи, кремнію, придатні, шару, механічного, реакторні
Формула / Реферат:
1. Реакторна система, придатна для виробництва кремнію, що містить:реакційний казан, що має внутрішню частину, відділену від його зовнішньої частини за допомогою однієї або декількох стінок казана, які під час роботи утримують перший газоподібний хімічний продукт у щонайменше частині внутрішньої частини реакційного казана, при цьому перший хімічний продукт являє собою щонайменше один з газу силану (SiH4), газу трихлорсилану (SiHCl3)...
Спосіб ущільнення пористих субстратів
Номер патенту: 93580
Опубліковано: 25.02.2011
Автори: Луазі Патрік, Бодрі Іван, Чанг Кенні
МПК: C23C 16/458, C23C 16/44
Мітки: спосіб, пористих, ущільнення, субстратів
Формула / Реферат:
1. Спосіб ущільнення пористих субстратів за допомогою хімічної інфільтрації газової фази (CVI) в печі CVI, згідно з яким піч CVI містить зону підігріву газу-попередника і реакційну камеру, в якій проводять ущільнення пористих субстратів; вказана піч CVI містить нижню стінку, що розділяє зону підігріву газу-попередника і реакційну камеру, причому в нижній стінці є велика кількість утворених в ній крізних отворів, які відповідають великій...
Спосіб контролю процесу ущільнення пористого субстрату піролітичним вуглецем шляхом хімічної інфільтрації газовою фазою
Номер патенту: 89025
Опубліковано: 25.12.2009
Автори: Маркер Поль-Марі, Фурне Рене, Коме Гі-Марі, Сьйон Ерік
МПК: C23C 16/26, C23C 16/52, C23C 16/44 ...
Мітки: пористого, хімічної, процесу, вуглецем, шляхом, ущільнення, фазою, піролітичним, інфільтрації, субстрату, газовою, контролю, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб контролю процесу ущільнення принаймні одного пористого субстрату піролітичним вуглецем шляхом хімічної інфільтрації газовою фазою, відповідно до якого кладуть у піч партію з одного або більше субстратів, що підлягають ущільненню, нагрівають вказаний субстрат, подають у піч реакційний газ, який містить принаймні один вуглеводень, що є джерелом вуглецю, встановлюють у печі тиск, при якому реакційний газ здатний дифундувати у пори...
Прокладка
Номер патенту: 84862
Опубліковано: 10.12.2008
Автор: Чанг Кенні
МПК: C04B 35/83, C23C 16/44, C23C 16/458 ...
Мітки: прокладка
Формула / Реферат:
1. Кільцева прокладка, що має першу й другу поверхні, протилежні одна одній, і множину утворених у ній отворів, яка відрізняється тим, що виготовлена з металевого матеріалу і щонайменше частково утворює множину радіально орієнтованих каналів для проходження газів, що з'єднують внутрішню в радіальному напрямку сторону прокладки з її зовнішньою в радіальному напрямку стороною.2. Прокладка за п. 1, яка відрізняється тим, що металевий...
Спосіб моніторингу перебігу процесу з використанням газу-реагенту, що містить один або декілька газоподібних вуглеводнів
Номер патенту: 77035
Опубліковано: 16.10.2006
Автори: Тібодо Ерік, Делпер'є Бернар
МПК: C23C 16/26, C23C 16/04, B01D 53/14 ...
Мітки: використанням, спосіб, газоподібних, газу-реагенту, декілька, містить, вуглеводнів, моніторингу, процесу, перебігу
Формула / Реферат:
1. Спосіб моніторингу перебігу процесу, який здійснюють в печі з використанням газу-реагенту, що містить принаймні один газоподібний вуглеводень, причому згаданий спосіб має у своєму складі настройку робочих параметрів печі, уведення у піч газу-реагенту, що містить принаймні один газоподібний вуглеводень, і виведення із печі відхідних газів, що містять побічні продукти реакції газу-реагенту, який відрізняється тим, що відхідні гази піддають...
Спосіб хімічної інфільтрації в паровій фазі для ущільнення пористих волокнистих заготовок, розташованих кільцеподібно штабелями
Номер патенту: 44309
Опубліковано: 15.02.2002
Автори: ЛЕЛЮАН Жан-Лук, КРІСТІН Франсуа, ДЕЛОРЕН П'єр, ДОБІНІ П'єр
МПК: C23C 16/04, C23C 16/44, C23C 16/455 ...
Мітки: хімічної, фазі, спосіб, ущільнення, інфільтрації, пористих, заготовок, розташованих, штабелями, волокнистих, кільцеподібно, паровій
Формула / Реферат:
1. Спосіб хімічної інфільтрації в паровій фазі для ущільнення пористих волокнистих заготовок матеріалом всередині останніх, який включає завантаження ущільнюваних волокнистих заготовок всередину реакційної камери печі інфільтрації, розташування волокнистих заготовок принаймні кільцеподібно або штабелями з внутрішнім проходом, який видовжено в напрямку реакційної камери і який розгалужує внутрішній канал з проміжками, залишеними між...
Спосіб хімічної інфільтрації в паровій фазі матеріалу в середовище волокнистого субстрату
Номер патенту: 29487
Опубліковано: 15.11.2000
Автор: КРІСТІН Франсуа
МПК: B29B 11/16, C04B 35/84, C04B 35/83 ...
Мітки: паровій, матеріалу, хімічної, інфільтрації, фазі, спосіб, субстрату, середовище, волокнистого
Текст:
...или проводимость в случае цилиндричес 3 29487 кого субстрата. Под продольным электрическим сопротивлением или теплопроводностью понимают сопротивление или проводимость, измеренные параллельно наружным боковым поверхностям субстрата, в частности круговое сопротивление или проводимость в случае цилиндрического субстрата. Заявителем было установлено, что субстрат, обладающий приведенными выше характеристиками, касающимися отношений rr/rc и...