Патенти з міткою «сегнетокерамичної»

Номер патенту: 12067

Опубліковано: 25.12.1996

Автор: Левченко Георгій Тимофійович

МПК: C23C 14/38

Мітки: мішені, виготовлення, сегнетокерамичної, спосіб

Формула / Реферат:

Способ изготовления сегнетокерамической мишени для вакуумного нанесения пленок, вклю­чающий формовку заготовки из материала мише­ни с последующим обжигом, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости пара­метров получаемых пленок, после обжига мишень обрабатывают током разряда плотностью 10-400 мА/см2 в течение 9-12 ч.

Номер патенту: 12069

Опубліковано: 25.12.1996

Автор: Левченко Георгій Тимофійович

МПК: C23C 16/02, C23C 14/36

Мітки: спосіб, мішені, виготовлення, сегнетокерамичної

Формула / Реферат:

Способ изготовления сегнетокерамической мишени, включающий формовку материала ми­шени, обжиг, измельчение и повторную формовку с обжигом, обработку материала мишени в вакуу­ме путем пропускания через него тока, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения долговечности мишени перед обработкой материала мишени в ва­кууме проводят селективную металлизацию по­верхности мишени, а пропускание тока осуществляют поочередно через участки металли­зации с...

Номер патенту: 12068

Опубліковано: 25.12.1996

Автор: Левченко Георгій Тимофійович

МПК: C23C 14/36

Мітки: мішені, сегнетокерамичної, спосіб, виготовлення

Формула / Реферат:

Способ изготовления сегнетокерамической мишени, включающий формовку заготовки, ее об­жиг, измельчение, повторные операции формовки и обжига и обработку заготовки током разряда в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повы­шения производительности процесса, обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65•10-1 Па.