Спосіб виготовлення сегнетокерамичної мішені

з/ \ ЯЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАН •ЇЯ ЭКЗ. ї V СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ * С 23 С 14/36 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3841424/24-21 (22) 23.11.84 (71) Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской. социалистической революции ; (72) Г. Т. Левченко (53) 621.793.12 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1156402, кл. С 23 С 15/00, 1983. Авторское свидетельство СССР № 1243397, кл. С 23 С 15/00, 1983. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ (57) Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и изготовления сегнетокерамических мишеней, распыляемых ионной бомбардировкой . в вакууме. Цель изобретения - повышение производительности изготовления мишени - достигается путем ускорения структурных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током разряда. Для этого обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65'10 ' Па. Процесс обработки при указанном давлении' не превышает 3040 мин. При практической реализации способа стабилизация тока разряда .наступала через 30-40 мин от начала обработки, после чего мишени были готовы к использованию. 00 О О со К 1 3OO97G п п относится к области ната бз ия„ По ошок титанэтэ бапия с предварительно добавленной связкой нанесения покрытий в вакууме, а имен(поливиниловый спирт) формивали при но, к способам изготовления сегнетодавлении ^9 "ID Па. Отформованные керамических мишеней, распыляемых заготовки обжигали при температуре ионной бомбардировкой в вакууме. однократного спекания керамики титаЦелью изобретения является повыната бария 1672 К в течение 2 ч. шение производительности изготовлеОбожженные заготовки дробили прессом, ния мишеин путем ускорения структура затем дальнейшее измельчение проных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током раз- 10 водили в агатовой мельнице. Из полученного порошка повторно формовали ряда. заготовки мишеней размером 80*40 * Во время обработки мишени током *10 мм и обжигали при температуре разряда в ее объеме между поверх1533 К в течение 2 ч. Затем обожженностью распыления и поверхностью,контактирующей с катодом, происходит по с-15 ные заготовки помещали в вакуумную камеру и, установив давление не ботепенное изменение свойств сегнетолее 6,65/10 Па, а также выполнив электрического материала, а именно разогрев мишени до температуры, досповышение проводимости вследствие потаточной для зажигания разряда, обявления вакансий в подрешетке кислорабатывали объем мишеней разрядным рода и свободных электронов, образу- 20 током 1,5 А до его стабилизации.Подющих f-центры, что приводит к заметдержание разряда обеспечивали индукпому изменению цвета сегнетокерамики цией арочного магнитного поля 560 Гс до серо-черного с п-типом проводимос(измерена на высоте 10 мм над мити. При обработке объема заготов25 шенью) , площадь кольцевой зоны эроки мишени при давлении не более зии составляла 18 см 2 , следователь6,65- і О" 1 Па значительно ускоряется но, плотность разрядного тока соспроцесс появления вакансий в подретавляет 83 мА/см 2 . Стабилизация тока шртге кислорода и свободных электроразряда наступала через_ 30-40 мин нов, образующих f-центры, что и приводит к сокращению времени развития 30 от начала обработки, после чего мишени были готовы к использованию. области повышенной проводимости.Дальнейшее уменьшение давления при обработке объема мишени (например, более', чем в 100 раз) практически не Формула изобретения * сокращает время обработки, но увели35 чивает затраты, связанные с получеСпособ изготовления сегнетокераминием более глубокого вакуума. Обраческой мишени, включающий формовку ботка в вакууме.при давлении более заготовки, ее обжиг, измельчение, чес 6,65-10 Па приводит к увелиповторные операции формовки и обжига чению времени обработки до 9-І 2 ч, 40 и обработку заготовки током разряда снижая тем самым производительность» в вакууме, о т л и ч а ю щ и й с я Процесс же обрабопси при Д З Е Л Є Ш Ш не тем, что, с целью повышения произвоболее 6,65-10 1 Па составляет 30дительности процесса, обработку за40 миь. готовки током разряда в вакууме 45 проводят при давлении не более П р и м е р. Проводилось изготов6,65Ч0~ 1 Па. ление мишеней из керамического тита Редактор Т. Лошкарева Заказ 354/ДСП Составитель Б. Одиноков ТехредВ.Кадар Корректор И. Эрдейи Тираж 703 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,4.