Спосіб виготовлення сегнетокерамичної мішені

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме путем ионного распыления мишеней. Цель изобретения - повышение долговечности мишени - достигается путем равно мерной обработки участков материала мишени током в процессе ее изготовления. Для этого пропускают ток поочередно через участки металлизации, что позволяет устранить неоднородность в структуре керамики. По окончании обработки металлизацию удаляют, например, химическим травлением или распылением в разряде на заслонку. Обработка мишени по частям позволяет получить более однородную проводимость в области всей распыляемой зоны, что приводит к повышению долговечности. В мишенях, изготовленных по данному способу, дуговые разряды начинают появляться только после 230250 ч распыления в магнетронной системе, т.е. в 3 раза позже, чем в способе-прототипе . о о СО ел 1 300975 2 Изобретение относится к области металлические (например, никелевые) нанесения покрытий в вакууме путем электроды в виде секторов с дугой,не ионного распыления мишеней, а именно, превышающей 10 мм. Превышение зтого к способам изготовления мишеней. размера приводило к повышению неоднородности обработки объема мишени. Целью изобретения является повыПосле этого мишень устанавливали в шение долговечности мишени путем раввакуумной камере на катодный пьедесномерной обработки участков материатал, прогревали до 623-673 К,что ла мииени током в процессе ее изгообеспечивало электропроводность матовления. Пропускание тока поочередно через 10 териала мишени, и поочередно пропускали через сектора от отдельных исучастки металлизации на мишени позточников питания ток плотностью воляет устранить неоднородности в 2 83 мА/см в течение 9-12 ч в вакууме структуре керамики. Локальные участ6,65 Па. По окончании обработки меки, в свою очередь, способствуют образованию дуговых разрядов, приводя- 15 таллизацию удаляли, например, химическим травлением или распылением в щих к пробою мишени, что снижает ее разряде на заслонку. Мишень была годолговечность. това к использованию. Обработка объема мишени по частям В мишенях, изготовленных по данпозволяет получить более однородную проводимость в области всей распыляе- 20 ному способу, дуговые разряды начинают появляться только после 230мой зоны, что приводит к повышению 250 ч распыления в магнетронной сисдолговечности. теме, т.е. в 3 раза позже, чем в споП р и м е р . Проводили изготовлесобе-прототипе . ние сегиетокерамической мишени из ке25 рамического тнтаната бария. Порошок изобретения Формула титаната бария с предварительно доСпособ изготовления сегнетокерабавленной связкой (поливиниловый спирт) мической мишени, включающий формовку формовали при давлении 49-10 Па. Отматериала мишени, обжиг, измельчение формованную заготовку обжигали при 30 и повторную формовку с обжигом,обратемпературе однократного спекания кеботку материала мишени в вакууме пурамики титаната барня 1672 К в течетем пропускания через него тока, о тние 2 ч. Обожженную заготовку дробил и ч а ю щ и й с я тем, что, с пи прессом, а затем дальнейшее изцелью повышения долговечности мишени, мельчение проводили в агатовой мель- нице. Из полученного порошка повтор- э 5 перед обработкой материала мишени в вакууме проводят селективную метално формовали заготовку мишени размелизацию поверхности мишени, а пропусром 80*40*10 мм и обжигали при темкание тока осуществляют поочередно ператури 1533 К в течение 2 ч. Затем через участки металлизации с послена всю распыляемую поверхность мишени наносили, например, через маску 40 дующим их удалением. Редактор Г. Лошкарева Заказ 354/ДСП Составитель В. Одиноков Техред В.Кадар Корректор И. Эрдейи Тираж 703 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,4