Спосіб виготовлення сегнетокерамичної мішені

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ для вакуумного нанесения пленок, включающий формовку заготовки из материала мишени с последующим обжигом, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения воспроизводимости параметров получаемых пленок, после обжига мишень обрабатывают током разряда лпотностью 10-400 мА/см2 в течение 9-12 ч. ь го со 1243397 * чение 2 ч. Обожженные заготовки дроИзобретение относится к технике били прессом, а затем дальнейшее изполучения керамических мишеней для мельчение проводили в агатовой мельнанесения покрытий в вакууме распынице. Из полученного порошка повторлением и может быть использовано при но формовали заготовки мишеней разизготовлении пленочных интегральных мером 8 0 - 4 0 - 1 0 мм и обжигали при схем с сегнетоэлектрическимн элементемпературе 1533К в течение 2 ч. тами. Затем обожженные заготовки помещали Целью изобретения является повыв вакуумную камеру и, установив давшение воспроизводимости параметров 10 ление рабочего газа как при напылеполучаемых пленок за счет стабилинии 6,65 Па, обрабатывали объем мизации свойств сегнетоэлектрического шеней разрядным током 1,5 А, превыматериала по всему объему мишени. шающим ток при напылении. При этом Обработка мишени током разряда 2 плотность тока обработки заготовки плотностью менее 10 мА/см снижает производительность способа, а исполь- *5 не превышала 400 мА/см 2 . После образование плотности тока разряда более ботки в течение 9-12 ч происходила 400 мА/см2 приводит, как правило, к стабилизация тока разряда, что свипробою мишени. детельствует о готовности мишени. Мишени, изготовленные по предда— При обработке мишени менее 9 ч 20 гаемому способу, перед напылением изменения в ее объеме полностью не каждой серии пленок необходимо подзавершаются, что приводит к недоставергать предварительной традиционточной воспроизводимости, а обработной "тренировке" (очистке распыляека более 12 ч нецелесообразна, так мой поверхности) при закрытой заслонкак дальнейших изменений в объеме мишени, повышающих воспроизводимость, 25 ке, также как й мишени, изготовленные известными способами. не обнаружено. П р и м е р . Проводилось изготовление мишеней из керамического титаПленки, полученные при распылении ната бария. Порошок титаната бария током разряда 0,5 А в магнетронном 30 ионно-плазмелном устройстве с испольс предварительно добавленной связкой (рас тв ор поливиниловог о спирт а) зованием мишеней, изготовленных по формовали при давлении 49-10 Па. Отпредлагаемому способу,имели в серии формованные заготовки обжигали при из 10 напылений £ = 1630-1680, а температуре однократного спекания t g 8 = 0 , 0 3 - 0 , 0 3 5 , т . е . разброс по керамики титаната бария 1673К в те35 £ составляет ± 1,50,а по tg S ± 7 , 7 % . , Редактор ІО.ІОрчикова Составитель Н.Овсянникова Техред О.Гиртнаи Корректор В.Бутяга Заказ 625/ДСП Тираж 677 Подписное ВЇТИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113015, Москвл, Ж-35, Раушская н а б . , д . 4 / 5 . і Іраняроде гврнно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород,, ул.Проектная,4.