Патенти з міткою «вирощуванням»
Пристрій для адаптивного керування вирощуванням монокристалів із розплаву
Номер патенту: 106103
Опубліковано: 25.07.2014
Автори: Довбиш Анатолій Степанович, Москаленко В'ячеслав Васильович, Суздаль Віктор Семенович, Проценко Сергій Іванович, Шелехов Ігор Володимирович
МПК: C30B 15/20, G05D 27/00, C30B 35/00 ...
Мітки: розплаву, монокристалів, вирощуванням, адаптивного, пристрій, керування
Формула / Реферат:
Пристрій для адаптивного керування вирощуванням монокристалів із розплаву, що містить електропривод кристалотримача, підключений до блока корекції переміщення кристалотримача, який з'єднаний з датчиком дискретного переміщення кристалотримача, датчик рівня розплаву, підключений до блока корекції підживлення і з'єднаний з підживлювачем, блоки контролю і корекції температури донного і бічного нагрівачів, контролю і корекції тиску і температури...