Москаленко В’ячеслав Васильович
Пристрій для адаптивного керування вирощуванням монокристалів із розплаву
Номер патенту: 106103
Опубліковано: 25.07.2014
Автори: Шелехов Ігор Володимирович, Проценко Сергій Іванович, Суздаль Віктор Семенович, Довбиш Анатолій Степанович, Москаленко В'ячеслав Васильович
МПК: C30B 15/20, G05D 27/00, C30B 35/00 ...
Мітки: вирощуванням, керування, адаптивного, монокристалів, розплаву, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для адаптивного керування вирощуванням монокристалів із розплаву, що містить електропривод кристалотримача, підключений до блока корекції переміщення кристалотримача, який з'єднаний з датчиком дискретного переміщення кристалотримача, датчик рівня розплаву, підключений до блока корекції підживлення і з'єднаний з підживлювачем, блоки контролю і корекції температури донного і бічного нагрівачів, контролю і корекції тиску і температури...