Алєксандров Євген Веніамінович
Спосіб іонного травлення пластин
Номер патенту: 3333
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Навроцький Михайло Васильович, Алєксандров Євген Веніамінович, Ілюк Ігор Євгенович, Молчанов Костянтин Вікторович
МПК: H01L 21/265
Мітки: іонного, пластин, травлення, спосіб
Формула / Реферат:
1. Способ ионного травления пластин, включающий размещение пластин на электроде и обработку пластин путем чередования стадий травления и откачки, отличающийся тем, что во время вакуумной откачки пластины поворачивают вокруг общей оси, параллельной осям пластин, на угол , который выбирают из условия