Бєрдиєв Курбан Ходжаєвич
Пристрій магнетронного розпилення матеріалів
Номер патенту: 52326
Опубліковано: 16.12.2002
Автори: Кабін Олександр Вікторович, Казіміров Микола Миколайович, Бєрдиєв Курбан Ходжаєвич, Гончарук Ігор Михайлович, Чернолуцький Дмитро Леонідович
МПК: C23C 14/32
Мітки: матеріалів, розпилення, магнетронного, пристрій
Формула / Реферат:
1. Пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом, кільцеподібну пласку мішень з катодом, розташовану паралельно площині верхніх країв магнітів в порожнині між стінками магнітної системи, який відрізняється тим, що магніти магнітної системи розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійних стінок і боковій...