Гончарук Ігор Михайлович
Пристрій магнетронного розпилення матеріалів
Номер патенту: 52326
Опубліковано: 16.12.2002
Автори: Гончарук Ігор Михайлович, Казіміров Микола Миколайович, Кабін Олександр Вікторович, Чернолуцький Дмитро Леонідович, Бєрдиєв Курбан Ходжаєвич
МПК: C23C 14/32
Мітки: розпилення, пристрій, матеріалів, магнетронного
Формула / Реферат:
1. Пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом, кільцеподібну пласку мішень з катодом, розташовану паралельно площині верхніх країв магнітів в порожнині між стінками магнітної системи, який відрізняється тим, що магніти магнітної системи розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійних стінок і боковій...