Бойко Борис Тимофійович
Спосіб виготовлення гнучких фотоелектричних перетворювачів на основі cdte
Номер патенту: 79800
Опубліковано: 25.07.2007
Автори: Лісачук Георгій Вікторович, Хрипунов Геннадій Семенович, Бойко Борис Тимофійович
МПК: H01L 31/04, H01L 31/0264
Мітки: основі, фотоелектричних, гнучких, перетворювачів, виготовлення, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення гнучких фотоелектричних перетворювачів на основі CdTe, що включає осадження методом магнетронного розпилення електродного шару оксидів індію й олова (ІТО) на гнучку підкладку з прозорої поліімідної плівки, пошарове осадження шляхом термічного випаровування шарів CdS та CdTe, з наступним відпалом приладової структури із сформованими зовнішніми електродами, який відрізняється тим, що додатково здійснюють відпал шару...