Боулін Вілліам Аллен
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази (варіанти)
Номер патенту: 70336
Опубліковано: 15.10.2004
Автори: Діллон Гарольд Філліпс ІІ, Брюс Роберт Вілліам, Бетшер Кейт Хамфріс, Марікоккі Антоніо Френк, Боулін Вілліам Аллен, Вортмен Девід Джон, Еванс Джон Дуглас, старший
МПК: C23C 14/30, C23C 14/56
Мітки: варіанти, покриття, електронно-променевий, парової, конденсацією, нанесення, пристрій, фазі
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12) , що функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12); камеру попереднього нагрівання (14), розташовану суміжно та на одній лінії із покривною камерою (12), для попереднього нагрівання виробів (20), підтримуваних в камері попереднього...