Бетшер Кейт Хамфріс

Номер патенту: 71924

Опубліковано: 17.01.2005

Автори: Рігні Девід Вінсент, Віллен Вілліам Сез, Марікоккі Антоніо Френк, Еванс Джон Дуглас Ср., Бетшер Кейт Хамфріс, Вігв'є Рудольфо, Вортмен Девід Джон, Брюс Роберт Вілліам, Лагеманн Кристофер Лі

МПК: H01J 37/30, C23C 14/30, C23C 14/54 ...

Мітки: фазі, нанесення, електронно-променевий, пристрій, парової, покриття, конденсацією

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...

Номер патенту: 70336

Опубліковано: 15.10.2004

Автори: Еванс Джон Дуглас, старший, Марікоккі Антоніо Френк, Діллон Гарольд Філліпс ІІ, Брюс Роберт Вілліам, Вортмен Девід Джон, Боулін Вілліам Аллен, Бетшер Кейт Хамфріс

МПК: C23C 14/30, C23C 14/56

Мітки: покриття, фазі, варіанти, парової, електронно-променевий, конденсацією, нанесення, пристрій

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12) , що функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12); камеру попереднього нагрівання (14), розташовану суміжно та на одній лінії із покривною камерою (12), для попереднього нагрівання виробів (20), підтримуваних в камері попереднього...