Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази (варіанти)

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12) , що функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12); камеру попереднього нагрівання (14), розташовану суміжно та на одній лінії із покривною камерою (12), для попереднього нагрівання виробів (20), підтримуваних в камері попереднього нагрівання (14) засобами підтримки (22), до введення виробів (20) у покривну камеру (12); завантажувальні камери (16, 18), які розташовані суміжно та на одній лінії із камерою попереднього нагрівання (14) і мають прохід (40), крізь який виріб (20), завантажений на засоби підтримки (22), послідовного вводять в камеру попереднього нагрівання (14) та у покривну камеру (12); та пересувну платформу (24), яка підтримує завантажувальні камери (16, 18), з можливістю пересування відносно камери попереднього нагрівання (14) для зворотно-поступального пересування завантажувальних камер (16, 18) по одній лінії із камерою попереднього нагрівання (14), причому пересувні платформи (24) мають піднесений профіль не більше 2,5 см.

2. Електронно-променевий пристрій (10) за п.1, який відрізняється тим, що камера попереднього нагрівання (14) кріпиться до поверхні, а пересувна платформа (24) підтримується над поверхнею з можливістю переміщення.

3. Електронно-променевий пристрій (10) за п.1, який відрізняється тим, що додатково включає підшипники (44), які вмонтовані в поверхню з можливістю підтримання пересувної платформи (24).

4. Електронно-променевий пристрій (10) за п.1, який відрізняється тим, що пересувна платформа (24) додатково має на своїй поверхні мостовий перехід у ділянці, суміжній із завантажувальними камерами (16, 18).

5. Електронно-променевий пристрій (10) за п.1, який відрізняється тим, що додатково включає другі засоби (22) для підтримки виробу (20) в камері попереднього нагрівання (14) та покривній камері (12); другу завантажувальну камеру (16, 18), що примикає до завантажувальних камер (16, 18), має прохід (40), крізь який другий виріб (20) завантажують на другі засоби підтримки (22), та підтримується пересувною платформою (24) з можливістю зворотно-поступального пересування другої завантажувальної камери (16, 18) по одній лінії із камерою попереднього нагрівання (14).

6. Електронно-променевий пристрій (10) за п. 5, який відрізняється тим, що пересувна платформа (24) виконана з можливістю пересування між першою позицією, в якій перша завантажувальна камера (16, 18) вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), а друга не вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), другою позицією, в якій перша завантажувальна камера (16, 18) не вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), а друга вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), та третьою позицією, в якій жодна із завантажувальних камер не вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14).

7. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя в покривну камеру (12); перші засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12); камеру попереднього нагрівання (14), розташовану суміжно та на одній лінії із покривною камерою (12), для попереднього нагрівання першого виробу (20), підтримуваного першими засобами підтримки (22) в камері попереднього нагрівання (14), до введення на них першого виробу (20) в покривну камеру (12); першу завантажувальну камеру (16, 18), яка розташована суміжно та на одній лінії із камерою попереднього нагрівання (14) та навпроти покривної камери (12) і має прохід (40), крізь який перший виріб (20) завантажують на засоби підтримки (22) до послідовного введения на них першого виробу (20) в камеру попереднього нагрівання (14) та покривну камеру (12); другі засоби (22) для підтримки другого виробу (20) в камері попереднього нагрівання (14) та покривній камері (12); другу завантажувальну камеру (16, 18), яка розташована суміжно з першою завантажувальною камерою (16, 18), і має прохід (40), крізь який другий виріб (20) завантажують на другі засоби підтримки (22), пересувну платформу (24), профіль якої піднесено не більше, ніж на 2,5 см та яка підтримує першу та другу завантажувальні камери (16, 18) з можливістю їх зворотно-поступального пересування відносно камери попереднього нагрівання (14); підшипники (44), які підтримують пересувну платформу (24).

8. Електронно-променевий пристрій (10) за п. 7, який відрізняється тим, що пересувна платформа (24) виконана з можливістю пересування між першою позицією, в якій перша завантажувальна камера (16, 18) вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), а друга не вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), другою позицією, в якій перша завантажувальна камера (16, 18) не вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), а друга вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14), та третьою позицією, в якій жодна із завантажувальних камер не вирівнюється із камерою попереднього нагрівання (14).

9. Електронно-променевий пристрій (10) за п. 7, який відрізняється тим, що пересувна платформа (24) додатково має на своїй першій поверхні перший мостовий перехід в ділянці, суміжній із першою завантажувальною камерою (16, 18), та другий мостовий перехід на другій поверхні у ділянці, суміжній із другою завантажувальною камерою (16, 18).

10. Електронно-променевий пристрій (10) за п. 7, який відрізняється тим, що підшипники (44) вмонтовані в поверхню.