Демченко Ірина Миколаївна
Спосіб контролю якості польового транзистора
Номер патенту: 21228
Опубліковано: 04.11.1997
Автори: Свєчніков Сергій Васильович, Смертенко Петро Семенович, Демченко Ірина Миколаївна, Цимбал Анатолій Йосипович, Власюк Віталій Анатолійович, Починко Нестор Васильович
МПК: H01L 21/66, G01R 31/26
Мітки: спосіб, польового, транзистора, якості, контролю
Формула / Реферат:
Способ контроля качества полевого транзистора, включающий измерение вольт-амперной характеристики исток-сток, отличающийся тем. что измеряют величину дифференциального наклона вольт-амперной характеристики в двойном логарифмическом масштабе a =dlnl/dlnV при двух значениях напряжения: V1=Vp, соответствующего рабочему току Ір, и V2=Vр/n при n=2...5, и отбирают полевые транзисторы, сопоставляя параметры a1, a2, I1, I2 с эталонными, где a1 и a2,...