Зиков Олександр Володимирович

Номер патенту: 42072

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: Зиков Олександр Володимирович, Дудін Станіслав Валентинович, Рафальський Дмитро В'ячеславович

МПК: H01J 27/16

Мітки: джерело, іонів, енергоефективне

Формула / Реферат:

Енергоефективне джерело іонів, що включає діелектричну розрядну камеру з підключеним до джерела ВЧ напруги через розділовий конденсатор потенціальним електродом площею S1 і іонно-оптичною системою у вигляді заземленого електрода-сітки площею S2, а також ВЧ індуктор, що охоплює камеру зовні, яке відрізняється тим, що потенціальний електрод складений з нерухомої і рухомої частин та виконаний з можливістю зміни його площі S1 завдяки пересуванню...

Номер патенту: 5774

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Фареник Володимир Іванович, Качанов Юрій Олександрович, Зиков Олександр Володимирович, Юнаков Микола Миколаєвич

МПК: H01J 27/02

Мітки: джерело, іонів

Формула / Реферат:

Источник ионов с холодным катодом, содер­жащий газоразрядную камеру с расположенными в ней цилиндрическим анодом, торцевым катодом и перфорированным катодом, магнитную систему и систему формирования ионного пучка, отличаю­щийся тем, что, с целью регулирования распределения плотности ионного тока пучка по его сече­нию, в газоразрядной камере со стороны торцевого катода соосно аноду установлен цилиндрический электрод с возможностью его...

Номер патенту: 5770

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Марущенко Микола Борисович, Качанов Юрій Олександрович, Фареник Володимир Іванович, Юнаков Микола Миколайович, Зиков Олександр Володимирович

МПК: C23C 14/00

Мітки: спосіб, мішеней, обробки, вакуумі, діелектричних, поверхонь

Формула / Реферат:

Способ обработки поверхностей диэлектри­ческих мишеней в вакууме, включающий бомбар­дировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода - нейтрализатора, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения качества обра­ботки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода - нейтрализатора подают положительный по­тенциал j [В], выбираемый из...

Номер патенту: 2426

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Будянський Олександр Михайлович, Зиков Олександр Володимирович, Фареник Володимир Іванович

МПК: H01J 27/16

Мітки: високочастотне, іонів, джерело

Формула / Реферат:

Высокочастотный источник ионов, содержащий диалектрическую разрядную камеру, ВЧ-индуктор, охватывающий камеру снаружи, потенциальный апектрод, расположенный в объеме камеры, и ионно-оптическую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и надежности рабо­ты, потенциальный апектрод соединен с источником ВЧ-напряжения через разделительный конденса­тор, а ионно-оптическая система источника состоит из одного заземленного...