Дяченко Ольга Дмитрівна

Номер патенту: 68748

Опубліковано: 10.04.2012

Автори: Осінський Володимир Іванович, Масол Ігор Віталійович, Дяченко Ольга Дмитрівна, Демінський Петро Віталійович

МПК: H01L 21/208

Мітки: пристрій, напівпровідників, підкладок, отримання

Формула / Реферат:

1. Пристрій для отримання підкладок напівпровідників, що містить підкладку з ростовими комірками, тримач підкладок, маніпулятор, систему управління, систему забезпечення технологічного середовища, який відрізняється тим, що система забезпечення технологічного середовища виконана із системи гетероепітаксійного росту напівпровідників, зокрема нітридів галію, індію і алюмінію, розрахована на епітаксійний ріст напівпровідникових структур з...