Еберхардт Хельмут
Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази
Номер патенту: 107217
Опубліковано: 10.12.2014
Автори: Сесерко Павел, Віттіх Йорг, Ріт Вольфганг, Хотц Йюрген, Кіршнер Манфред, Еберхардт Хельмут
МПК: C23C 14/24, H01J 37/305, C23C 14/30 ...
Мітки: застосуванням, парової, способу, нанесення, осадження, пристрій, електронно-променевого, субстратів, фазі, вкривання, допомогою
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...