Хотц Йюрген
Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази
Номер патенту: 107217
Опубліковано: 10.12.2014
Автори: Ріт Вольфганг, Віттіх Йорг, Еберхардт Хельмут, Сесерко Павел, Кіршнер Манфред, Хотц Йюрген
МПК: H01J 37/305, C23C 14/30, C23C 14/24 ...
Мітки: парової, пристрій, способу, осадження, субстратів, допомогою, нанесення, вкривання, електронно-променевого, фазі, застосуванням
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...