Ріт Вольфганг
Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази
Номер патенту: 107217
Опубліковано: 10.12.2014
Автори: Еберхардт Хельмут, Віттіх Йорг, Кіршнер Манфред, Ріт Вольфганг, Хотц Йюрген, Сесерко Павел
МПК: C23C 14/30, C23C 14/24, H01J 37/305 ...
Мітки: способу, пристрій, електронно-променевого, фазі, парової, вкривання, нанесення, застосуванням, осадження, субстратів, допомогою
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...