Кіршнер Манфред
Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази
Номер патенту: 107217
Опубліковано: 10.12.2014
Автори: Еберхардт Хельмут, Ріт Вольфганг, Хотц Йюрген, Віттіх Йорг, Кіршнер Манфред, Сесерко Павел
МПК: C23C 14/24, C23C 14/30, H01J 37/305 ...
Мітки: способу, осадження, парової, нанесення, пристрій, допомогою, субстратів, електронно-променевого, застосуванням, вкривання, фазі
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...