Федоров Роман Васильович

Номер патенту: 9014

Опубліковано: 30.09.1996

Автор: Федоров Роман Васильович

МПК: C30B 13/00

Мітки: напівпровідникових, матеріалів, очищення, пристрій

Формула / Реферат:

Устройство для очистки полупроводниковых материалов, содержащее кольцевые зонные нагреватели, окружающие контейнер с исходным мате­риалом и снабженные неподвижными фоновыми нагревателями сопротивления, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности за счет исключения холостого хода зонных нагре­вателей, они выполнены в виде лент, намотанных с одинаковым шагом и совмещенных по шагу на две трубы, установленные коаксиально с...