Фіалковський Павло Олександрович
Спосіб позиціонування лазерного променя на зонд атомно-силового мікроскопа
Номер патенту: 91523
Опубліковано: 10.07.2014
Автори: Коваленко Юрій Іванович, Яценко Ірина В'ячеславівна, Бондаренко Максим Олексійович, Антонюк Віктор Степанович, Білокінь Світлана Олександрівна, Фіалковський Павло Олександрович
МПК: G01B 11/03
Мітки: спосіб, атомно-силового, позиціонування, мікроскопа, зонд, лазерного, променя
Формула / Реферат:
Спосіб позиціонування лазерного променя на зонд атомно-силового мікроскопа, що включає розташування еліптичного дзеркала з тришаровим оксидним покриттям по напрямку ходу лазерного променя при його фокусуванні на зонді, який відрізняється тим, що генерують лазерне випромінювання і направляють на еліптичне дзеркало, яке додатково розташовують на шляху розповсюдження лазерного променя до зонда, причому попередньо на поверхню еліптичного...