Філіпченко Ірина Миколаївна
Спосіб створення р-n переходів у кремнії
Номер патенту: 15690
Опубліковано: 30.06.1997
Автори: Старков Володимир Євгенович, Філіпченко Ірина Миколаївна, Герасімов Алєксєй Борісовіч, Клембек Сергій Петрович, Антонова Валентина Антонівна
МПК: H01L 21/268
Мітки: створення, переходів, кремнії, спосіб
Формула / Реферат:
(57) Способ создания р-n переходов в кремнии, включающий введение примеси с планарной стороны пластины и диффузионную разгонку примеси импульсным некогерентным излучением с длиной волны из области собственного поглощения кремния в течение времени, необходимого для получения р-n перехода заданной глубины залегания, отличающийся тем, что разгонку осуществляют облучением пластины с непланарной стороны излучением с плотностью мощности не менее 20...