G01P 15/12 — шляхом зміни електричного опору
Інтегральний датчик прискорення та спосіб його виготовлення
Номер патенту: 29594
Опубліковано: 15.11.2000
Автори: Горбань Олександр Миколайович, Кравчина Віталій Вікторович
МПК: G01P 15/12
Мітки: прискорення, датчик, спосіб, інтегральній, виготовлення
Текст:
...толщиной 100-800 мкм, что обеспечивает возможность точного задания емкостного зазора и крепления датчика. Упругие балки содержат интегральные полупроводниковые приборы, что позволяет определять ускорение по электрическим характеристикам этих приборов независимо от определения ускорения по изменению емкости емкостного зазора. Пробная масса имеет не две, как в прототипе, а одну степень свободы, что позволяет точнее определить ускорение, это...