Горбань Олександр Миколайович
Спосіб виготовлення інтегральних мікросхем з комплементарними транзисторами
Номер патенту: 69040
Опубліковано: 16.08.2004
Автори: Костенко Валер'ян Остапович, Горбань Олександр Миколайович, Кравчина Віталій Вікторович
МПК: H01L 21/70
Мітки: транзисторами, мікросхем, комплементарними, інтегральних, виготовлення, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення інтегральних схем з комплементарними транзисторами, який включає формування на монокристалічній кремнієвій пластині плівки нітриду кремнію, відкривання в ній локальних ділянок, формування першої плівки двоокису кремнію, відкривання в ній локальних ділянок, травлення першої групи ізолюючих канавок, формування захованого шару, формування другої плівки двоокису кремнію, відкривання вікон у плівках нітриду кремнію за...
Спосіб отримання електричного контакту типу “метал-напівпровідник” до фосфіду індію
Номер патенту: 28793
Опубліковано: 15.08.2001
Автори: Швець Юлій Олександрович, Горбань Олександр Миколайович, Горбенко Віталій Іванович
МПК: H01L 21/223
Мітки: фосфіду, спосіб, отримання, індію, метал-напівпровідник, електричного, контакту, типу
Формула / Реферат:
Спосіб отримання електричного контакту типу "метал-напівпровідник" до фосфіду індію, що включає його вакуумування та нагрівання до температури дисоціації, який відрізняється тим, що нагрівання проводять в умовах низького вакууму в середовищі, яке вміщує атомарний водень з концентрацією від 1·1018 до 1·1021 атомів/м3.
Інтегральний датчик прискорення та спосіб його виготовлення
Номер патенту: 29594
Опубліковано: 15.11.2000
Автори: Кравчина Віталій Вікторович, Горбань Олександр Миколайович
МПК: G01P 15/12
Мітки: спосіб, прискорення, інтегральній, виготовлення, датчик
Текст:
...толщиной 100-800 мкм, что обеспечивает возможность точного задания емкостного зазора и крепления датчика. Упругие балки содержат интегральные полупроводниковые приборы, что позволяет определять ускорение по электрическим характеристикам этих приборов независимо от определения ускорения по изменению емкости емкостного зазора. Пробная масса имеет не две, как в прототипе, а одну степень свободы, что позволяет точнее определить ускорение, это...
Спосіб отримання електричного контакту типу “металнапівпровідник” до фосфіду індію
Номер патенту: 28793
Опубліковано: 16.10.2000
Автори: Горбенко Віталій Іванович, Швець Юлій Олександрович, Горбань Олександр Миколайович
МПК: H01L 21/223
Мітки: отримання, контакту, спосіб, фосфіду, типу, металнапівпровідник, електричного, індію
Формула / Реферат:
Спосіб отримання електричного контакту типу "метал-напівпровідник" до фосфіду індію, що включає його вакуумування та нагрівання до температури дисоціації, який відрізняється тим, що нагрівання проводять в умовах низького вакууму в середовищі, яке вміщує атомарний водень з концентрацією від 1·1018 до 1·1021 атомів/м3.
Спосіб обробки носія для запису та зберігання інформації
Номер патенту: 25721
Опубліковано: 30.10.1998
Автори: Горбань Олександр Миколайович, Маслова Оксана Володимирівна
МПК: G03C 1/72
Мітки: носія, спосіб, запису, обробки, інформації, зберігання
Формула / Реферат:
Способ обработки носителя для записи и хранения информации, представляющего собой магнитооптическую пленку структуры типа феррит-гранат, заключающийся в облучении ее g-лучами, отличающийся тем, что пленку дополнительно подвергают высокотемпературному отжигу, намагничиванию и просвечиванию в ультрафиолетовом диапазоне (0,2 - 1мкм) либо инфракрасном диапазоне (5 - 100мкм), при этом облучение g-лучами в ультрафиолетовом диапазоне предшествует...