G01Q 10/00 — Пристрою сканування або позиціонування, тобто пристрої для активного управління рухом або положенням зонда

Номер патенту: 100080

Опубліковано: 10.07.2015

Автор: Тюменцев Володимир Антонович

МПК: G01Q 10/00, G01N 13/00, G01N 27/406, G01Q 20/00 ...

Мітки: електрофізичних, вимірів, параметрів, пристрій, матеріалу, напівпровідникового

Формула / Реферат:

1. Пристрій для вимірювання електрофізичних параметрів напівпровідникового матеріалу, що містить вимірювальні зонди, вимірювальну головку, важіль, пружину, механізми підйому і опускання зондів, переміщення вимірюваного зразка, переміщення вимірювальної головки щодо зразка, блоків управління і вимірювання, який відрізняється тим, що зонди жорстко кріпляться на вимірювальної головці, виконаній у вигляді плоскої металевої пластини, яка...

Номер патенту: 50320

Опубліковано: 25.05.2010

Автори: Шарапов Валерій Михайлович, Романенко Дмитро Євгенович

МПК: H01L 41/00, G01Q 10/00

Мітки: сканер, п'єзокерамічний

Формула / Реферат:

П'єзокерамічний сканер, що містить основу, утримувач об'єкта або зонда, чотири біморфні елементи, кожен з яких складається з металевої пластини та п'єзоелемента, утримувач об'єкта або зонда у вигляді біморфного п'єзоелемента, який також складається з металевої пластини та п'єзоелемента, причому утримувач об'єкта закріплений на інших біморфних елементах за допомогою пружних пластинок прямокутної форми, який відрізняється тим, що ширина...