П’єзокерамічний сканер

П'єзокерамічний сканер, що містить основу, утримувач об'єкта або зонда, чотири біморфні елементи, кожен з яких складається з металевої пластини та п'єзоелемента, утримувач об'єкта або 3 50320 керамічного сканера, відповідаючими за переміщення за координатами X та Y. Корисна модель пояснюється кресленнями, де: на фіг. 1 - показано загальний вид п'єзокерамічного сканера, що пропонується; на фіг. 2 - показано вид зверху. П'єзокерамічний сканер містить основу 1, утримувач об'єкта або зонда 2, чотири біморфні елементи 3, 4, 5, 6, кожен з яких складається з металевої пластини 7, 8, 9, 10, на якій закріплений п'єзоелемент 11, 12, 13, 14 (фіг. 2). Біморфні п'єзоелементи одною стороною металевої пластини закріплені на основі таким чином, що поперечний переріз фігури, утвореної сторонами біморфних п'єзоелементів являє собою прямокутник, в якому ширина біморфних п'єзоелементів 3, 5 більше, ніж ширина біморфних п'єзоелементів 4, 6. Утримувач об'єкту 2 виконаний у вигляді біморфного п'єзоелемента, котрий складається з металевої пластини 15 та п'єзоелемента 16, причому утримувач об'єкту закріплений за допомогою пружних пластинок прямокутної форми 17, 18, 19, 20. П'єзокерамічний сканер працює наступним чином. При подаванні напруги на два діаметрально протилежні п'єзоелемента 12 та 14, біморфні п'єзоелементи починають деформуватися в наслідок Комп’ютерна верстка І.Скворцова 4 чого відбувається переміщення утримувача об'єкту 2 по вісі X. При подаванні напруги на два діаметрально протилежні біморфних п'єзоелемента 11 та 13, біморфні п'єзоелементи починають деформуватися в наслідок чого відбувається переміщення утримувача об'єкту 2 по вісі У. При подаванні напруги на п'єзоелемент 16 відбуваються переміщення утримувача об'єкту 2 по вісі Z. Так як ширина біморфних п'єзоелементів 4 та 6 менша, ніж ширина біморфних п'єзоелементів 3 та 5, резонансні частоти цих біморфних п'єзоелементів відрізняються, що зменшує зв'язок між біморфними п'єзоелементами п'єзокерамічного сканера. Приклад конкретного застосування. У конфетному випадку використовувався п'єзоелемент з п'єзокераміки ЦТС-19 з розмірами: діаметром - 25 мм та товщиною - 0,3 мм. Металеві пластини 7, 9 з розмірами: широка сторона - 90 мм, протилежна сторона - 80 мм, висота основи 15 мм, товщина - 0,2 мм; висота - 60 мм. Металеві пластини 8, 10 з розмірами: широка сторона - 45 мм, протилежна сторона - 35 мм, висота основи 15 мм, товщина - 0,2 мм; висота - 60 мм. Електроди на внутрішній та зовнішній поверхні п'єзоелемента, так, як показано на фіг. 2. Діапазон сканування вище, чим у найближчого аналогу у 1,6 раза. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601