Гальчинський Олександр Володимирович
Пристрій для осадження надпровідних плівок
Номер патенту: 18139
Опубліковано: 01.07.1997
Автори: Василів Михайло Ярославович, Бондар Вячеслав Дмитрович, Гальчинський Олександр Володимирович
МПК: H01L 39/24
Мітки: плівок, пристрій, надпровідних, осадження
Формула / Реферат:
Пристрій для осадження надпровідних плівок, який містить ВЧ-генератор, анод, магнетронний катодний вузол з мішенню та підкладки, який відрізняється тим, що підкладки розташовані безпосередньо над поверхнею мішені в області тіні для іонів О2-.