Василів Михайло Ярославович
Пристрій для осадження надпровідних плівок
Номер патенту: 18139
Опубліковано: 01.07.1997
Автори: Гальчинський Олександр Володимирович, Бондар Вячеслав Дмитрович, Василів Михайло Ярославович
МПК: H01L 39/24
Мітки: плівок, надпровідних, осадження, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для осадження надпровідних плівок, який містить ВЧ-генератор, анод, магнетронний катодний вузол з мішенню та підкладки, який відрізняється тим, що підкладки розташовані безпосередньо над поверхнею мішені в області тіні для іонів О2-.
Спосіб осадження багатокомпонентних плівок
Номер патенту: 18151
Опубліковано: 01.07.1997
Автори: Бондар Вячеслав Дмитрович, Василів Михайло Ярославович
МПК: H01L 39/24
Мітки: плівок, спосіб, багатокомпонентних, осадження
Формула / Реферат:
Спосіб осадження багатокомпонентних плівок, який включає іонно-плазмове розпилення з твердофазної синтезованої мішені, який відрізняється тим, що високочастотні коливання, сформовані ВЧ-генератором, модулюють сітковими низькочастотними імпульсами, які формують результуючий імпульс І паузу в співвідношенні (1/1 - 8/8) мс.