Галстян Геворк Гакікович
Пристрій керування продуктивністю формування наноелектронних структур
Номер патенту: 72966
Опубліковано: 10.09.2012
Автори: Ходаковський Микола Іванович, Галстян Геворк Гакікович, Ларкін Сергій Юрійович, Золот Анатолій Іванович, Новіков Євген Іванович
МПК: H01L 21/00
Мітки: наноелектронних, продуктивністю, формування, пристрій, структур, керування
Формула / Реферат:
Пристрій керування продуктивністю формування наноелектронних структур, що містить блок керування параметрами, вхід якого є входом пристрою, а вихід якого зв'язаний з входом блока сканування зонда, вихід блока сканування зонда з'єднаний з входом блока реєстрації відхилень зонда, вхід-вихід блока реєстрації відхилень зонда зв'язаний з входом-виходом блока керування параметрами, який відрізняється тим, що містить блок керування скануванням...