Голома Віталій Володимирович
Спосіб нанесення покриття багатокомпонентних сполук із плазми магнетронного розряду і пристрій для його здійснення
Номер патенту: 13770
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Чорногорський Валерій Павлович, Голома Віталій Володимирович, Владимиров Вадим Володимирович, Стеценко Борис Володимирович, Панченко Олег Антонович
МПК: C23C 14/38
Мітки: сполук, магнетронного, покриття, розряду, багатокомпонентних, здійснення, спосіб, нанесення, пристрій, плазми
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытия многокомпонентных соединений из плазмы магнетронного разряда, включающий напуск реагирующего газа в напылительную камеру и последующую его откачку, а также управление потоком газа, отличающийся тем, что скорость откачки газа устанавливают равной критическому значению, а отношение скоростей откачки и натекания реагирующего газа устанавливают постоянным в течение процесса напыления.2. Способ по п.1,...