Панченко Олег Антонович
Джерело пучка іонів із замкненим дрейфом електронів
Номер патенту: 92057
Опубліковано: 27.09.2010
Автори: Птушинський Юрій Григорович, Борденюк Іван Васильович, Панченко Олег Антонович, Лисенко Віталій Степанович
МПК: H01J 27/02, H01J 37/08
Мітки: іонів, замкненим, пучка, джерело, електронів, дрейфом
Формула / Реферат:
Джерело пучка іонів із замкненим дрейфом електронів, що містить магнітопровідний корпус, що є катодом, у торці якого розташована емісійна щілина для випуску пучка іонів, і в порожнині якого розташований анод симетрично зазначеній щілині і ізольований від корпусу, джерело магніторушійної сили, джерело електроживлення, з'єднане з катодом і анодом, а також вакуумна система відкачки з камерою, яка містить катод, анод та джерело магніторушійної...
Спосіб одержання порожнистих наночастинок оксиду металу
Номер патенту: 89729
Опубліковано: 25.02.2010
Автори: Панченко Олег Антонович, Птушинський Юрій Григорович, Лисенко Віталій Степанович
МПК: C01G 09/00, B82B 03/00, C01F 05/00 ...
Мітки: наночастинок, металу, спосіб, порожнистих, оксиду, одержання
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання порожнистих наночастинок оксиду металу, що включає окиснення наночастинок металу киснем, який відрізняється тим, що наночастинки металу одержують випарюванням відповідного металу в атмосфері інертного газу при тиску не вище атмосферного і конденсують на підкладці, окиснення наночастинок металу проводять контактуванням їх з киснем повітря протягом не менше однієї секунди і нагрівають одержані наночастинки в вакуумі чи в...
Спосіб нанесення покриття багатокомпонентних сполук із плазми магнетронного розряду і пристрій для його здійснення
Номер патенту: 13770
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Владимиров Вадим Володимирович, Чорногорський Валерій Павлович, Стеценко Борис Володимирович, Панченко Олег Антонович, Голома Віталій Володимирович
МПК: C23C 14/38
Мітки: нанесення, сполук, розряду, магнетронного, покриття, плазми, багатокомпонентних, пристрій, спосіб, здійснення
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытия многокомпонентных соединений из плазмы магнетронного разряда, включающий напуск реагирующего газа в напылительную камеру и последующую его откачку, а также управление потоком газа, отличающийся тем, что скорость откачки газа устанавливают равной критическому значению, а отношение скоростей откачки и натекания реагирующего газа устанавливают постоянным в течение процесса напыления.2. Способ по п.1,...