Гончаров Олександр Андреевич

Номер патенту: 64529

Опубліковано: 16.02.2004

Автори: Ігнатенко Петро Іванович, Гончаров Олександр Андреевич, Терпій Дмитро Миколайович

МПК: C23C 16/00

Мітки: оксидної, спосіб, плівки, одержання

Формула / Реферат:

Спосіб одержання оксидної плівки V2О5, що включає осадження на підкладці в атмосфері, що містить кисень, який відрізняється тим, що текстурований п’ятиокис ванадію утворюють на поверхні тонкого прошарку дибориду ванадію, який нарощують епітаксійно на грані (111) кремнію методом нереактивного ВЧ-магнетронного розпилення мішені VB2 протягом 20 хв. при режимі: потужність розряду (NP) 400-350 Вт, зсув на підкладці (V) - 8 В, струм розряду (Ір)...