Терпій Дмитро Миколайович

Номер патенту: 64529

Опубліковано: 16.02.2004

Автори: Гончаров Олександр Андреевич, Терпій Дмитро Миколайович, Ігнатенко Петро Іванович

МПК: C23C 16/00

Мітки: одержання, оксидної, плівки, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб одержання оксидної плівки V2О5, що включає осадження на підкладці в атмосфері, що містить кисень, який відрізняється тим, що текстурований п’ятиокис ванадію утворюють на поверхні тонкого прошарку дибориду ванадію, який нарощують епітаксійно на грані (111) кремнію методом нереактивного ВЧ-магнетронного розпилення мішені VB2 протягом 20 хв. при режимі: потужність розряду (NP) 400-350 Вт, зсув на підкладці (V) - 8 В, струм розряду (Ір)...

Номер патенту: 57300

Опубліковано: 16.06.2003

Автори: Гончаров Олександр Андрійович, Терпій Дмитро Миколайович, Ігнатенко Петро Іванович

МПК: C23C 16/38

Мітки: одержання, спосіб, плівки

Формула / Реферат:

Спосіб одержання плівки шляхом плазменного напилювання дибориду цирконію, який відрізняється тим, що плівку ZrB2 із захисним оксидним прошарком ZrO2 осаджують нереактивним ВЧ-магнетронним розпиленням мішені ZrB2 у камері з попереднім вакуумом (5х10-3 Па) при підігріві (20-90°С) монокристалічної підкладки (111) Si.