Гордієнко Юлія Олександрівна
Спосіб виготовлення вістряного емітера
Номер патенту: 109246
Опубліковано: 27.07.2015
Автори: Саданов Євгеній Вікторович, Старченко Ігор Володимирович, Великодна Ольга Олександрівна, Мазілов Олексій Олександрович, Гордієнко Юлія Олександрівна
МПК: H01J 1/304, H01J 37/285, H01J 9/02 ...
Мітки: емітера, виготовлення, спосіб, вістряного
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення вістряного емітера, за яким вольфрамову заготовку спочатку піддають електрохімічному травленню до отримання радіуса кривизни вістря заготовки 20-70 нм, потім заготовку піддають польовому травленню в газовому азотному середовищі у вакуумній камері польового іонного мікроскопа при постійній напруженості електричного поля в інтервалі від 24 до 57 В/нм до видалення з поверхні мікровиступів, який відрізняється тим, що...