Старченко Ігор Володимирович
Спосіб виготовлення вістряного емітера
Номер патенту: 109246
Опубліковано: 27.07.2015
Автори: Саданов Євгеній Вікторович, Мазілов Олексій Олександрович, Великодна Ольга Олександрівна, Гордієнко Юлія Олександрівна, Старченко Ігор Володимирович
МПК: H01J 9/02, H01J 1/304, H01J 37/285 ...
Мітки: спосіб, емітера, вістряного, виготовлення
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення вістряного емітера, за яким вольфрамову заготовку спочатку піддають електрохімічному травленню до отримання радіуса кривизни вістря заготовки 20-70 нм, потім заготовку піддають польовому травленню в газовому азотному середовищі у вакуумній камері польового іонного мікроскопа при постійній напруженості електричного поля в інтервалі від 24 до 57 В/нм до видалення з поверхні мікровиступів, який відрізняється тим, що...